SEM 是 Scanning Electron Microscope 的缩写，全称为扫描电子显微镜，是一种利用电子束对样品表面进行扫描，并通过检测二次电子信号来形成高分辨率图像的 电子显微镜 类仪器。
扫描电子显微镜 的核心原理基于电子束与样品表面的相互作用。以下是其关键特性与技术细节：
| 特性 | 说明 |
|---|---|
| 成像方式 | 通过电子束逐行扫描样品表面，收集由样品发射的 二次电子 或背散射电子信号 |
| 分辨率 | 通常可达 1-20 纳米（取决于加速电压与样品性质） |
| 景深 | 显著优于光学显微镜，适合观察粗糙表面的立体结构 |
| 工作电压 | 常见范围为 1 kV 至 30 kV，高真空环境运行 |
| 应用领域 | 材料科学、生物学、半导体制造及地质学等 |
与透射电子显微镜（TEM）不同，SEM 无需透射样品，而是通过表面扫描获得三维形貌信息。其优势在于：高分辨率、大视场 和 可观察非导电样品（通过镀膜处理）。此外，SEM 常配合能谱仪（EDS）进行元素分析，形成 SEM-EDS 联用技术。
需要注意的是，在其他专业领域中，SEM 可能指代其他术语，例如：运营分析（Strategic Enterprise Management）或结构方程模型（Structural Equation Modeling），但其在显微镜领域是最为常见的缩写。
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