sem是什么是()法的缩写

SEM是"扫描电子显微镜"（Scanning Electron Microscope）的缩写，是一种利用聚焦电子束扫描样品表面、通过检测电子信号成像的高分辨率显微技术。其核心原理及特点如下：

1. 工作原理：通过电子枪发射高能电子束，经电磁透镜聚焦成纳米级束斑，扫描样品表面时激发二次电子、背散射电子等信号，探测器接收后转换为图像。

2. 分辨率优势：可达1nm以内，远超光学显微镜（约200nm），因电子波长比可见光短多个数量级。

3. 景深大：比光学显微镜高100倍以上，适合粗糙表面三维形貌观察。

4. 信号多样性：

- 二次电子（SE）：反映表面形貌。

- 背散射电子（BSE）：体现原子序数衬度。

- X射线能谱（EDS）：用于元素成分分析。

扩展技术：

环境SEM（ESEM）：允许样品在低真空或湿润状态下观测，适用于生物等非导电样品。

聚焦离子束-SEM联用（FIB-SEM）：结合离子束切割与电子成像，实现三维重构。

应用领域：

材料科学（断裂面分析、纳米材料表征）。

生命科学（细胞超微结构观察，需镀膜处理）。

半导体工业（芯片缺陷检测）。

注意：SEM需真空环境，导电性差的样品需喷镀金/碳膜以避免电荷积累。