sem-eds可以分析什么

能谱扫描电子显微镜（SEM-EDS）是一种结合扫描电子显微镜和X射线能谱分析的技术，主要用于材料的微区成分分析。其具体分析能力包括：

1. 元素成分分析：可检测从硼（B）到铀（U）的元素（部分设备可探测轻元素如碳、氧），提供定性及半定量分析，检出限通常为0.1%-1%。

2. 元素分布成像：通过面扫描（mapping）显示样品中元素的二维分布，适用于观察偏析、夹杂物或镀层中的元素扩散。

3. 相分析与物相鉴定：结合形貌观察，可区分不同相（如金属中的析出相、陶瓷中的晶界相），但需配合XRD或EBSD进行更精确的晶体结构确认。

4. 失效分析：在断口分析中识别腐蚀产物、污染物或异常元素富集（如PCB上的卤素残留），辅助确定失效机制。

5. 镀层/涂层表征：测量镀层厚度（需截面制样）、成分均匀性及界面扩散（如Ni-P镀层中的磷梯度分布）。

6. 生物与地质样品分析：适用于矿石中微量金属赋存状态研究，或生物组织中的钙、磷等元素分布（需注意样品导电性处理）。

7. 快速成分筛查：对未知样品（如考古文物、电子元件）进行非破坏性初步分析，但定量时需标样校准。

技术局限性：

对于超轻元素（H、He、Li）灵敏度低；

定量分析受样品表面平整度、导电性和测量条件影响；

电子束可能损伤有机或敏感材料。

扩展应用：

与WDS（波谱仪）联用可提高分辨率（检出限达0.01%）；

环境SEM（ESEM）可分析含水样品，避免镀膜干扰结果。

SEM-EDS在材料科学、电子工业、地质学等领域具有不可替代的作用，但需结合其他技术（如TEM、XPS）以获得更全面的材料信息。