SEM(扫描电子显微镜)量测主要关注以下几个方面:
1. 样品形貌:观察样品的表面形态及微观结构,获取细节丰富的图像。
2. 成分分析:结合能谱分析(EDS)或波谱分析(WDS),获取样品的元素成分信息。
3. 颗粒大小与分布:量化样品中颗粒的大小、形状和分布特征。
4. 表面粗糙度:分析表面的平滑度或粗糙度,以评估其对某些应用的影响。
5. 缺陷与缺陷密度:观察材料中的缺陷,如裂纹、气孔等,并评估其密度和分布。
6. 结晶结构:通过EBSD(电子背散射衍射)等技术,分析材料的晶体取向和相变表征。
7. 厚度测量:对于薄膜材料,测量膜层的厚度和均匀性。
通过以上这些参数的测量,SEM能提供丰富的材料特征信息,帮助研究人员进行材料的性能分析、质量控制和新材料的开发。
查看详情
查看详情