SEM是扫描电子显微镜(Scanning Electron Microscope)的缩写。它是一种利用聚焦的高能电子束在样品表面进行扫描,通过检测电子与样品相互作用产生的二次电子、背散射电子等信号来获取样品表面形貌、成分和结构信息的精密仪器。

在材料科学、生物学、半导体工业、地质学和 forensic science 等领域,SEM被广泛应用于微米至纳米尺度的表面分析。其典型分辨率可达1纳米左右,放大倍数远高于光学显微镜,并且具有较大的景深,能够呈现清晰的三维立体形态。
需要指出的是,在电化学分析领域,SEM也可能指扫描电化学显微镜(Scanning Electrochemical Microscope),用于原位测量样品表面的电化学活性分布。但通常在通用科学仪器语境中,SEM特指扫描电子显微镜。

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