扫描电子显微镜(SEM)是一种利用聚焦电子束扫描样品表面的高分辨率成像仪器,通过检测电子与样品相互作用产生的信号,能获得多种专业信息。

SEM能获得的主要信息包括:形貌信息、成分信息、晶体结构信息以及其他物理化学性质。
形貌信息基于二次电子信号成像,提供样品表面微观结构的直观图像,分辨率可达纳米级,用于观察形状、尺寸、纹理和分布等细节。
成分信息通过能谱仪(EDS)分析特征X射线,实现元素的定性、定量分析和元素分布映射,支持材料成分鉴定。
晶体结构信息利用电子背散射衍射(EBSD)技术,获得晶体取向、晶界类型、相分布和应变数据,适用于材料科学和地质学研究。
此外,SEM可集成其他探测器,如阴极发光探测器或磁力探测器,以获取样品的导电性、磁性或发光特性等附加信息。

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