扫描电子显微镜(SEM)通常需要专门的软件来控制仪器和进行图像处理。以下是一些常用的软件类型和具体软件:
1. 仪器控制软件:
- SEM通常随附专有软件,用于控制显微镜的各种功能,包括电子束的调整、样品台的移动、提高图像分辨率等。
- 这些软件通常是由SEM制造商提供的,常见的有JEOL、FEI(现为Thermo Fisher Scientific的一部分)、Hitachi等公司的软件。
2. 图像处理和分析软件:
- 用于处理和分析SEM获取的图像,比如信噪比增强、图像拼接、三维建模等。
- 常用的软件包括ImageJ(Fiji)、Adobe Photoshop、GIMP等。
3. 数据分析软件:
- 对于能谱分析(如EDS或WDS),也会有特定的软件配合使用。
- 例如Oxford Instruments、Bruker等公司提供的配套能谱分析软件。
4. 材料分析软件:
- 一些软件专门用于材料科学的图像分析,比如解析晶粒尺寸、相对成分等。
- TSL OIM、EBSD等软件用于整理和分析晶体织构数据。
选择具体软件时,主要取决于SEM的厂商、研究需求和预算。
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