扫描电子显微镜(SEM)通常使用专门的软件来进行图像采集和分析。这些软件通常由显微镜制造商提供,并与设备紧密集成。以下是一些常见的SEM软件功能和类型:
1. 图像采集软件:用于控制SEM的电子束,调节焦距、放大倍数和图像对比度,并捕获高分辨率的图像。
2. 图像分析软件:用于处理和分析捕获的图像,包括测量颗粒大小、形状分析、相对成分分析等。
3. 能谱分析(EDS/EDX)软件:用于元素分析和化学成分鉴定。许多SEM系统集成了这些功能,可以进行元素的定性和定量分析。
4. 3D建模软件:一些高级SEM系统具有三维重建能力,可以通过多角度图像创建样品的三维模型。
常见的SEM软件包括:
- Zeiss ZEN:用于Carl Zeiss显微镜,具有图像分析和元素分析功能。
- Thermo Fisher Scientific Avizo:专用于图像处理和3D建模。
- Oxford Instruments AZtec:广泛用于EDS和EBSD分析。
- Bruker QUANTAX:用于能量色散X射线光谱(EDS/EDX)分析。
不同品牌和型号的SEM可能会配备不同的软件,具体软件会根据仪器的功能和用户的需求有所不同。
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