俄歇电子(Auger electrons)通常不用于扫描电子显微镜(SEM)主要是因为其能量和产生机制与SEM的工作原理不符。SEM使用高能电子束轰击样品,生成二次电子(secondary electrons)和背散射电子(backscattered electrons),以形成样品表面的高分辨率图像。
俄歇电子的特点是其能量较低,通常在几十到几百电子伏特之间,且其产生过程与样品的化学成分密切相关,主要用于表面分析。虽然俄歇电子谱(Auger spectroscopy)可以提供元素的化学状态和环境信息,但由于它们的信号强度相对较弱且容易受到干扰,不太适合用于像SEM这样的成像技术。
SEM主要依赖于二次电子和背散射电子以获得表面形貌信息,而俄歇电子则更适合用于材料的表面化学分析。
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